在次代代显现技能Micro LED的开展过程中,跨界整合始终是要害。遍及在全球的芯片商、面板厂、制程技能供给者、体系供货商等,无不多方树立协作关系,发挥互相的技能强项,加快推动Micro LED技能进程。而从上游芯片制作开端,将各阶段制程及技能串连起来的,则非设备厂莫属。
如果说芯片、面板商是将Micro LED技能推上商业化舞台的艺人,设备厂便是后场静静整合资源,支撑光鲜前台的暗地工作人员,名声不一定特别嘹亮,功用却是至关重要。在本年LEDinside的年度盛事Micro LEDforum上,也稀有家设备厂商受邀共享他们的要害技能,供给搬运、接合、检测及修正等不同处理计划。
LEDinside有幸采访到专精于半导体后工序设备的ASM太平洋 (ASM Pacific Technology),由出售总监顾志豪先生进一步阐明,其相关制程设备怎么援助搬运及固晶技能,加快Micro LED商业化开展。
ASM 太平洋出售总监顾志豪先生具体介绍针对 Mini/ Micro LED 的技能及处理计划
「Micro LED生产技能最大的应战,仍是在于芯片数量。」谈到Micro LED的技能进程,顾志豪点出要害。他指出,曩昔传统LED用在显现屏幕上或许只需求50 - 500单位量的芯片,但现在的Micro LED显现屏则需求2400万的芯片量。因而,提高速度的搬运技能肯定是不可或缺的。
为到达后续制程良率的需求,确保芯片搬运时的精准度也适当重要。作为设备厂商,ASM太平洋能够因应客户的需求,供给一起满意速度跟精准度的搬运设备,帮忙他们优化制程功率并下降生产成本,加快量产时程。
而ASM太平洋所具有的完全产品线,能逐个击破Micro LED、Mini LED背光以及Mini LED RGB模块等不同技能的制程难题。
针对已开端进入商场的Mini LED背光技能,顾志豪表明这是最简单切入的技能,传统拾放的固晶技能也能到达,但ASM太平洋的强项在于能供给高速计划,其AD 420主动化体系便已被使用于现在Mini LED背光产品的制程中。
Mini LED RGB显现模块的制程上,除了坚持速度,还需提高芯片摆放的平整度,以坚持显现颜色的共同性。在回焊过程中,芯片的方位、视点、平整度都难以控制,这是传统工艺不易处理的难点。ASM 太平洋深明 Mini LED RGB以及Micro LED显现模块产品的要求,开宣布巨量焊接工艺AD300Pro,其独家技能让LED芯片不必通过回焊(reflow),可确保芯片的 XY方位及水平视点共同,使得全彩 RGB显现屏幕的平整度更易掌控。
至于Micro LED技能计划,ASM太平洋现在已到达一次搬运10000片Micro LED芯片,接合的功率更高达每次80000片。此外,ASM太平洋的专利焊头,能够在高温下焊接体现仍然坚持高共同性,在摄氏350度的温度下到达2 m以内的精准度,室温作业下更可到达1 m以内,机台的专利气舱内进行接合,供给氮气加强芯片维护。
ASM太平洋除了针对Mini LED背光、Mini LED RGB以及Micro LED都有相应的机台外,更能够供给全主动产线计划,从送入磊芯片等材料,到后端面板制程的机台间能够主动转化,不须透过人手控制。使用产品也从初期的测验样品,逐步进入量化产品阶段。
用于Micro LED的机台聚集于巨量搬运跟接合两种技能计划,分阶段将磊芯片依据客户给的规模抓取,放到暂存基板上,再搬运到方针模板上进行接合。现在巨量接合的良率更已到达99.99 - 100%。
「本年在各大显现屏的展会上,不少客户现已展出用以咱们的设备做出的Micro LED产品!」顾志豪表明,尽管现已跟不少公司协作超越一年半,制品作用也很好,但由于协作客户多为世界大厂,保密条款十分严厉,所以ASM太平洋多是低沉供给其独家技能。
顾志豪泄漏,现阶段协作的厂商包含日本、韩国、中国大陆、中国台湾等多家面板大厂,产品使用规模也包含大尺度显现器、手机屏幕、车用显现、通明显现屏等等。现在AD300Pro的装机率仍继续生长,许多客户都现已预备将此机台用于产品量产,并选用ASM太平洋供给的全主动化计划。
作为设备供货商,ASM太平洋看好Micro LED使用于车用通明显现器的商场,预估2020年末有时机见到搭载Micro LED通明显现银幕的轿车呈现在商场上。而Micro LED在穿戴设备上的使用,如AR/VR或手表等终端产品则估量在2021年往后进入商场。(文:LEDinside)
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